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J-GLOBAL ID：200902129211266990   Reference number：00A0144919

Enhanced Dielectric Properties in SrTiO₃/BaTiO₃ Strained Superlattice Structures Prepared by Atomic-Layer Metalorganic Chemical Vapor Deposition.

原子層有機金属化学気相成長により作製したSrTiO₃/BaTiO₃歪超格子構造における誘電特性の向上

Author (4)： WANG Z (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  YASUDA T (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  HATATANI S (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  ODA S (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 38  Issue： 12A  Page： 6817-6820  Publication year： Dec. 15, 1999 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ferroelectrics ,...

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JST classification (2)： Ferroelectrics,antiferroelectrics and ferroelasticity  (BM05030B) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (13)：

• 1) V. Mehrotra, S. Kaplan, A. J. Sievers and E. P. Giannelis: J. Mater. Res. 8 (1993) 1209.
• 2) Q. X. Jia, X. D. Wu, S. R. Foltyn and P. Tiwari: Appl. Phys. Lett. 66 (1995) 2197.
• 3) H. Kobayashi and T. Kobayashi: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) L533.
• 4) J. K. G. Panitz and C. C. Hu: J. Vac. Sci. & Technol. 16 (1979) 315.
• 5) K. Srenivas, A. Mansingh and M. Sayer: J. Appl. Phys. 62 (1987) 4475.

Terms in the title (8)： 原子層 ,  有機金属化学 ,  気相成長 ,  作製 ,  BaTiO3 ,  歪 ,  超格子構造 ,  誘電特性