Art

J-GLOBAL ID：200902129242007438   Reference number：98A0380433

Electrostatic Combdrive-Actuated Micromirrors for Laser-Beam Scanning and Positioning.

レーザ光線の走査と位置決めの為の静電櫛ドライブ動力マイクロミラー

Author (4)： KIANG M-H (Univ. California, CA, USA) ,  SOLGAARD O (Univ. California, CA, USA) ,  LAU K Y (Univ. California, CA, USA) ,  MULLER R S (Univ. California, CA, USA)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 7  Issue： 1  Page： 27-37  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： scanning ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： レーザ光線 ,  走査 ,  ドライブ ,  動力 ,  マイクロミラー