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J-GLOBAL ID：200902129583910012   Reference number：96A0284521

Comparative Study on The ZnO-Based Transparent Conducting Films by DC Magnetron Sputtering.

DCマグネトロンスパッタ法によるZnO系透明導電膜の作製と評価

Author (3)： NAKATA TOKIO (青山学院大 理工) ,  MURAKAMI NAOKI (青山学院大 理工) ,  KUNIOKA AKIO (青山学院大 理工)
Material： マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集  (エレクトロニクス実装学会秋季大会論文集)
Volume： 6th  Page： 71-74  Publication year： 1995 
JST Material Number： X0060A  ISSN： 2434-396X  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： zinc oxide ,...

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Solar cell  (NC03084O)

Terms in the title (5)： DCマグネトロンスパッタ法 ,  ZnO ,  透明導電膜 ,  作製 ,  評価