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J-GLOBAL ID：200902131050468002
Reference number：99A0760999
Nitride Thin Film Synthesis by Cluster Ion Beam.
クラスターイオンビームによる窒化物薄膜の合成
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Author (1)：
Material：
Issue：
475,Pt.1
Page：
417-420
Publication year：
1999
JST Material Number：
D0071C
ISSN：
0094-243X
Document type：
Proceedings
Country of issue：
United States (USA)
Language：
ENGLISH (EN)
Terms in the title (3)：
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