Art

J-GLOBAL ID：200902131244728153   Reference number：95A0092414

Silicon Micromachined Two-Dimensional Galvano Optical Scanner.

シリコン精密加工をした二次元ガルバノ光学スキャナ

Author (4)： ASADA N (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUKI H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MINAMI K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Trans Magn)
Volume： 30  Issue： 6 Pt 1  Page： 4647-4649  Publication year： Nov. 1994 
JST Material Number： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： galvanometer ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A0092414&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=A0339B") }}

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of current,voltage,charge  (AD07020C)

Terms in the title (3)： シリコン ,  精密加工 ,  光学スキャナ