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J-GLOBAL ID：200902133548863416   Reference number：95A0298531

Measurements of sheath electric fields in a high pressure helium radio frequency discharge.

高圧力ヘリウム高周波放電におけるシース電場の測定

Author (4)： BOWDEN M D (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  CHOI Y W (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  MURAOKA K (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  MAEDA M (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 66  Issue： 9  Page： 1059-1061  Publication year： Feb. 27, 1995 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： gas discharge ,...

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JST classification (1)： Gas discharges  (BJ03020T)

Terms in the title (5)： 高圧力 ,  ヘリウム ,  高周波放電 ,  シース ,  電場