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J-GLOBAL ID：200902134439885198   Reference number：02A0442233

Crystal Structure of Oxygen/Nitrogen-Doped GeSbTe Phase-Change Media: Investigation Using Grazing Incidence X-ray Diffraction.

酸素/窒素ドープしたGeSbTe相変化媒体の結晶構造 すれすれ入射X線回折を利用した研究

Author (5)： TAKASE A (Rigaku Corp., Tokyo, JPN) ,  FUJINAWA G (Rigaku Corp., Tokyo, JPN) ,  EBINA A (Teijin Ltd., Hiroshima, JPN) ,  HIRASAKA M (Teijin Ltd., Tokyo, JPN) ,  SUGIYAMA I (Teijin Ltd., Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 41  Issue： 4A  Page： 2189-2190  Publication year： Apr. 15, 2002 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *crystal structure ,...

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JST classification (2)： Crystal structure of metal oxides and chalcogenides  (BK07020Y) ,  Solid phase transitions  (BL04020G)

Reference (16)：

• 1) R. Kojima, S. Okabayashi, T. Kashihara, K. Horai, T. Matsunaga, E. Ohno, N. Yamada and T. Ohta: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 2098.
• 2) A. Ebina, M. Hirasaka and K. Nakatani: J. Vac. Sci. & Technol. A <B>17</B> (1999) 3463.
• 3) H. Seo, T. H. Jeong, J. W. Park, C. Yeon, S. J. Kim and S. Y. Kim: Jpn. J. Appl. Phys. 39 (2000) 745.
• 4) T. H. Jeong, M. R. Kim, H. Seo, J. W. Park and C. Yeon: Jpn. J. Appl. Phys. 39 (2000) 2775.
• 5) T. Ohta: Tech. Dig. ODS Top. Meet., 1991, No. 84.

Terms in the title (7)： 酸素 ,  窒素ドープ ,  相変化 ,  媒体 ,  結晶構造 ,  すれすれ入射X線回折 ,  研究