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J-GLOBAL ID：200902134732627403   Reference number：97A0529494

Development of A Method and Inspection System for Detecting Minute Defects of Hybrid IC Pattern.

ハイブリッドIC回路パターンの微小欠陥検出法と検査装置の開発

Author (2)： NAKANO KOICHI (石川県工試) ,  WATANABE YASUO (金沢工大)
Material： 映像情報メディア学会誌  (映像情報メディア)
Volume： 51  Issue： 3  Page： 400-404  Publication year： Mar. 1997 
JST Material Number： F0330A  ISSN： 1342-6907  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： hybrid integrated circuit ,...

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JST classification (2)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G) ,  Graphic and image processing in general  (JE04010I)

Reference (5)：

• 成瀬. 印刷回路パタ-ンへの応用. システムと制御. 1979, 23,7, 362-369
• プリント配線基板用の自動傷検査装置の現状. NIKKEIELECTRONICS. 1977, 80-92
• CHIN, R. Automated Visual Inspection-A Survey. IEEE. 1982, PAMI-4,6, 557-573
• 中野. ハイブリッドICパタ-ンの輪郭線抽出によるパタ-ン欠陥検出法. 電子情報通信学会「画像理解の高度化と高速化」シンポジウム. 1989, 121-126
• 中野. ハイブリッドICパタ-ンの微細欠陥検出法. 平成6年度電気関係学会北陸支部連合大会. 1994, 371

Terms in the title (6)： ハイブリッドIC ,  回路パターン ,  微小 ,  欠陥検出 ,  検査装置 ,  開発