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J-GLOBAL ID：200902134875885160   Reference number：00A0541903

Cat-CVD法における分解種の質量分析計測

Author (5)： KONGO KOICHI (北陸先端科学技術大学院大) ,  NOZAKI YOSHITAKA (北陸先端科学技術大学院大) ,  UMEMOTO HIRONOBU (北陸先端科学技術大学院大) ,  MASUDA ATSUSHI (北陸先端科学技術大学院大) ,  MATSUMURA HIDEKI (北陸先端科学技術大学院大)
Material： 日本物理学会北陸支部・応用物理学会北陸・信越支部合同講演会講演予稿集  (日本物理学会・応用物理学会北陸支部合同講演会講演予稿集)
Volume： 1999  Page： 98  Publication year： Dec. 04, 1999 
JST Material Number： L2263A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： Cat-CVD ,  分解 ,  質量分析 ,  計測