Art

J-GLOBAL ID：200902135345279657   Reference number：96A0704511

Micromachined Piezoelectric Force Sensors Based on PZT Thin Films.

PZT薄膜を用いた微細加工圧電式力センサ

Author (3)： LEE C (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ITOH T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SUGA T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control)
Volume： 43  Issue： 4  Page： 553-559  Publication year： Jul. 1996 
JST Material Number： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： force microscope ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (5)： PZT ,  薄膜 ,  微細加工 ,  圧電 ,  力センサ