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J-GLOBAL ID：200902136173303565
Reference number：93A0761713
Removing the energetic neutral problem in sputtering.
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Author (1)：
Material：
Volume：
11
Issue：
4 Pt 1
Page：
1522-1527
Publication year：
Jul. 1993
JST Material Number：
C0789B
ISSN：
0734-2101
CODEN：
JVTAD6
Document type：
Article
Country of issue：
United States (USA)
Language：
ENGLISH (EN)
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