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J-GLOBAL ID：200902137281674568   Reference number：97A0216942

Excimer laser crystallization and doping of silicon films on plastic substrates.

プラスチック基板上のシリコン膜のエキシマレーザ結晶化とドーピング

Author (3)： SMITH P M (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  CAREY P G (Lawrence Livermore National Lab., California) ,  SIGMON T W (Lawrence Livermore National Lab., California)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 70  Issue： 3  Page： 342-344  Publication year： Jan. 20, 1997 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (5)： プラスチック基板 ,  シリコン膜 ,  エキシマレーザ ,  結晶化 ,  ドーピング