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J-GLOBAL ID：200902138433510430   Reference number：93A0638940

Designing a New Apparatus for Measuring Particle Sizes of Nanometer Order by Light-scattering. (3rd Report). Evaluation of Measuring System by using Standard Particles.

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発 (第3報) 標準微粒子による粒径測定法の評価

Author (8)： MORI YUZO (大阪大 工) ,  AN HIROSHI (大阪電通大 工) ,  KATAOKA TOSHIHIKO (大阪大 工) ,  ENDO KATSUYOSHI (大阪大 工) ,  INAGAKI KOJI (味覚糖) ,  YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 工) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 工) ,  FUKUIKE TAKASHIGE (大阪電通大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 59  Issue： 7  Page： 1121-1126  Publication year： Jul. 1993 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Rayleigh scattering ,...

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JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Reference (5)：

• 1) 秋山伸幸 : 半導体用異物検査技術, 精密工学会誌, 55, 2(1989)294.
• 2) 小泉光義, 秋山伸幸 : LSIウエハパターンからの反射光の偏光特性を利用した異物検出法の開発, 計測自動制御学会論文集, 25, 9(1989)954.
• 3) 秋山伸幸, 中田俊彦, 牧 平坦, 芹澤正芳, 土井秀明, 水野文夫, 野副真理, 井古田まさみ, 細江卓朗, 近松秀一, 神宮孝広, 伊藤 慎, 阿部 茂 : 差画像検出方式異物検査装置の開発, 精密工学会誌, 57, 11(1991)1955.
• 4) 森 勇蔵, 安 弘, 遠藤勝義, 山内和人, 杉山和久, 土屋八郎, 井出 傲 : 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発, 精密工学会誌, 54, 11(1988)2132.
• 5) 森 勇蔵, 安 弘, 遠藤勝義, 山内和入, 井出 敞 : 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第2報)-シリコソウエハ表面付着微粒子の測定, 精密工学会誌, 56, 10(1990)1847.

Terms in the title (8)： 光散乱法 ,  ナノメータ ,  オーダ ,  粒径測定 ,  開発 ,  標準 ,  微粒子 ,  評価