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J-GLOBAL ID：200902138742848810   Reference number：95A0777865

Temperature Dependence of Nonlinearity on Piezoresistive Pressure Sensor for High Pressure Measurements.

高圧用ピエゾ抵抗形圧力センサに関する非直線誤差の温度依存性

Author (7)： MATSUOKA YOSHITAKA (日立) ,  YAMAMOTO YOSHIMI (日立) ,  TANABE MASANORI (日立 日立研) ,  YAMADA KAZUJI (日立 日立研) ,  SHIMADA SATOSHI (日立 日立研) ,  YASUKAWA AKIO (日立 機械研) ,  MATSUZAKA HIDETOSHI (日立計測エンジニアリング)
Material： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
Volume： 31  Issue： 8  Page： 1005-1014  Publication year： Aug. 1995 
JST Material Number： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： sensor ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Reference (21)：

• MATSUOKA, Y. Differential Pressure/Pressure Transmitters Applied with Semiconductor Sensors. IEEE Trans. 1986, IE-33-2, 152-157
• 西原. 半導体圧力センサの非線形特性の解折. 計測自動制御学会論文集. 1981, 17-2, 274-279
• YAMADA, K. Nonlinearity of the Piezoresistance Effect of p-Type Silicon Diffused Layers. IEEE Trans. 1982, ED-29-1-1, 71-77
• NISHIHARA, M. A Silicon Diaphragm Piezoresistive Pressure Sensor. Proceedings of the 2nd Sensor Symposium. 1982, 167-170
• 田辺. 高圧用半導体圧力センサの直線性. 第18回SICE学術講演会予稿集. 1979, 361-362

Terms in the title (6)： 高圧 ,  ピエゾ抵抗 ,  圧力センサ ,  非直線 ,  誤差 ,  温度依存性