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J-GLOBAL ID：200902141976875430   Reference number：97A0039732

Micro Physics. Physics of the Micro World and Micromachines.

マイクロ物理 微小世界の物理学とマイクロマシン

Author (1)： ESASHI MASAYOSHI (東北大 工)
Material： 日本ロボット学会誌  (ロボ學)
Volume： 14  Issue： 8  Page： 1086-1089  Publication year： Nov. 1996 
JST Material Number： Y0482A  ISSN： 0289-1824  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micromachining ,...
Semi thesaurus term： interfacial structure ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (10)：

• 江刺. マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス. 1992
• JOHANSSON, S. Fracture Testing of Silicon Microelements in Situ in a Scanning Electron Microscope. J. Appl. Phys. 1988, 63, 10, 4799-4803
• HORNBECK, L. J. Digital Light Processing and MEMS: Timely Convergence for a Bright Future. Micromachining and Microgabrication '95, Part of SPIE's Thematic Applied Science and Engineering Series. 1995, 3-21
• 土谷. 静電型マイクロセンサ,アクチュエータにおける表面間力. 計測自動制御学会論文集. 1994, 30, 2, 143-149
• CABUZ, C. Fabrication and Packaging of a Resonant Infrared Sensor Integrated in Silicon. Sensors and Actuators. 1994, A 43, 92-99

Terms in the title (5)： 物理 ,  微小 ,  世界 ,  物理学 ,  マイクロマシン