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J-GLOBAL ID：200902142936853871   Reference number：98A0611054

Phase-shifting analysis in moire interferometry and its applications in electronic packaging.

モワレ干渉法における位相シフト解析とその電子パッケージングへの応用

Author (4)： HE X (Wayne State Univ., Michigan) ,  ZOU D (Wayne State Univ., Michigan) ,  LIU S (Wayne State Univ., Michigan) ,  GUO Y (Motorola Semiconductor Products Sector, Arizona)
Material： Optical Engineering  (Opt Eng)
Volume： 37  Issue： 5  Page： 1410-1419  Publication year： May. 1998 
JST Material Number： B0577B  ISSN： 0091-3286  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *moire ,...

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JST classification (2)： Other optical instruments and techniques  (BD07080R) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (6)： モワレ干渉法 ,  位相シフト ,  解析 ,  電子 ,  パッケージング ,  応用