Art

J-GLOBAL ID：200902142992859386   Reference number：02A0687174

Production of a large-area argon microwave plasma by a ring slot antenna.

リングスロットアンテナによる大面積アルゴンマイクロ波プラズマの生成

Author (3)： SHIMATANI K (Toyo Univ., Saitama, JPN) ,  OKAMOTO T (Ushio Inc., Hyogo, JPN) ,  OKAMOTO Y (Toyo Univ., Saitama, JPN)
Material： Vacuum
Volume： 66  Issue： 3/4  Page： 359-364  Publication year： Aug. 19, 2002 
JST Material Number： E0347A  ISSN： 0042-207X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microwave discharge ,...

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JST classification (2)： Plasma production and heating  (BJ02060E) ,  Electromagnetic waves in plasma  (BJ02032F)

Terms in the title (4)： スロットアンテナ ,  大面積 ,  アルゴン ,  マイクロ波プラズマ