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J-GLOBAL ID：200902144053116764   Reference number：99A0029878

A Cylindrical Micro Ultrasonic Motor Using PZT Thin Film Deposited by Single Process Hydrothermal Method(φ2.4mm, L=10mm Stator Transducer).

単一工程の水熱合成法で堆積したPZT薄膜を用いた円筒型超音波マイクロモータ(φ2.4mm,L=10mmのステータ変換器)

Author (3)： MORITA T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KURIBAYASHI KUROSAWA M (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIGUCHI T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control)
Volume： 45  Issue： 5  Page： 1178-1187  Publication year： Sep. 1998 
JST Material Number： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： piezoelectrics ,...
Semi thesaurus term： *PZT

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JST classification (3)： Motors  (NB07030U) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (8)： 水熱合成法 ,  堆積 ,  PZT ,  薄膜 ,  超音波 ,  マイクロモータ ,  ステータ ,  変換器