Art

J-GLOBAL ID：200902144590386280   Reference number：95A0101221

Edge Poslishing of Chemical Vapor Deposited Diamond Plates.

気相合成ダイヤモンド薄板エッジ部の研磨

Author (3)： OKUZUMI FUMINORI (東京工大 工) ,  YOSHIKAWA MASANORI (東京工大 工) ,  YOU S (東京工大)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 60  Issue： 11  Page： 1656-1657  Publication year： Nov. 1994 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： vapor phase growth ,...

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Terms in the title (5)： 気相合成 ,  ダイヤモンド ,  薄板 ,  エッジ ,  研磨