Art

J-GLOBAL ID：200902145286876382   Reference number：98A0605204

High Density Mastering Using Electron Beam.

電子ビームを用いた高密度マスタリング

Author (5)： KOJIMA Y (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN) ,  KITAHARA H (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN) ,  KASONO O (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN) ,  KATSUMURA M (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN) ,  WADA Y (Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 37  Issue： 4B  Page： 2137-2143  Publication year： Apr. 1998 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optical disk ,...
Semi thesaurus term： electron beam recording

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=98A0605204&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

JST classification (1)： Electronic recording,magnetic recording,optical recording  (NC06020F)

Reference (13)：

• 1) F. Y. okogawa, S. Osawa, T. Iida, Y. Araki, K. Yamamoto and Y. Moriyama: submitted to MORIS/ISOM97 Tech. Dig.
• 2) T. Iida, T. Higuchi, H. Sasaki, K. Ogoshi and S. Yokozeki: Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1993) 5447.
• 3) P. L. M. Put, H. P. Urbach, R .D. Morton and J. J. Rusch: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 539
• 4) T. Higuchi, Y. Okumura and T. Iida: submitted to MORIS/ISOM97 Tech. Dig.
• 5) T. Yoshimura, H. Ohta, J. Yamamoto, S. Uchino, Y. Goto and T. Terasawa: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 6421

Terms in the title (3)： 電子ビーム ,  高密度 ,  マスタリング