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J-GLOBAL ID：200902145875725050   Reference number：96A0859979

The structures and properties of oxide thin films prepared by MBE method using an oxygen radical source.

酸素ラジカル源を用いたMBE酸化物薄膜の構造と物性

Author (6)： SHIGETANI HISASHI (太陽誘電) ,  KOBAYASHI KAZUYOSHI (太陽誘電) ,  KAWADA YUKIHIRO (太陽誘電) ,  FUJIMOTO MASAYUKI (太陽誘電) ,  SUGIMURA WATARU (早稲田大) ,  TANAKA JUNZO (無機材質研)
Material： 日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集  (Abstracts. Fall Meeting of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 8th  Page： 112  Publication year： Oct. 1995 
JST Material Number： L2240A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 酸素ラジカル ,  MBE ,  酸化物薄膜 ,  物性