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J-GLOBAL ID：200902146473905678   Reference number：95A0579120

Recognition of Fatality of Defects in Circuit Patterns.

回路パターン欠陥の致命性判定法

Author (6)： HARA YASUHIKO (日立 生産技研) ,  DOI HIDEAKI (日立 生産技研) ,  KARASAKI KOICHI (日立) ,  IIDA TADASHI (日立) ,  KITAMURA SHIGEKI (日立画像情報システム) ,  FURUTANI TAKASHI (日立画像情報システム)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 61  Issue： 6  Page： 844-848  Publication year： Jun. 1995 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： processing equipment ,...

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JST classification (1)： Electric and electronic parts in general  (NA05010H)

Reference (6)：

• 安藤護俊. プリント配線板外観検査技術の動向. サ-キットテクノロジ-. 1988, 3,5, 312
• 原靖彦. プリント基板パタ-ンの欠陥検査. 計測と制御. 1987, 26,4, 327
• CHIN, R. T. SURVEY Automated Visual Inspection: 1981 to 1987, Computer Vision, Graphics, and Image Processing. 1988, 41, 346
• NAKASHIMA, M. Automatic Mask Pattern Inspection for Printed Circuit Boards. FUJITU Scientific and Technical J. 1981, 105
• 酒匂 裕. 実時間半導体ウエハ外観検査アルゴリズム. 電子通信学会論文誌. 1986, J69-D,11, 1687

Terms in the title (1)： パターン欠陥