Art

J-GLOBAL ID：200902147258737914   Reference number：01A0282648

Spectral sensitivity enhancement by thin film of β-FeSi₂-Si composite prepared by RF-sputtering deposition.

RFスパッタリング蒸着により作製したβ-FeSi₂-Si複合薄膜によるスペクトル感度増強

Author (5)： OKAJIMA K (Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN) ,  YAMATSUGU H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  WEN C (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SUDOH M (Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN) ,  YAMADA K (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 381  Issue： 2  Page： 267-275  Publication year： Jan. 15, 2001 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： iron compound ,...
Semi thesaurus term： けい化鉄

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JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Photoconduction,photoelectromotive force  (BM03050J)

Terms in the title (7)： RFスパッタリング ,  蒸着 ,  作製 ,  Si ,  薄膜 ,  スペクトル感度 ,  増強