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J-GLOBAL ID：200902147481417379   Reference number：02A0847371

Microfabrication of diamond films by localized electron beam chemical vapour deposition.

局在電子ビーム化学蒸着法によるダイヤモンド薄膜の微細加工

Author (3)： KIYOHARA S (Tokyo Univ. Sci., Yamaguchi, JPN) ,  TAKAMATSU H (Tokyo Univ. Sci., Yamaguchi, JPN) ,  MORI K (Tokyo Univ. Sci., Yamaguchi, JPN)
Material： Semiconductor Science and Technology  (Semicond Sci Technol)
Volume： 17  Issue： 10  Page： 1096-1100  Publication year： Oct. 2002 
JST Material Number： E0503B  ISSN： 0268-1242  CODEN： SSTEET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Diamond ,...
Semi thesaurus term： Raman microspectroscopy

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Substance index (1)： Methane

Terms in the title (4)： 電子ビーム ,  化学蒸着法 ,  ダイヤモンド薄膜 ,  微細加工