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J-GLOBAL ID：200902149488813566   Reference number：00A0239358

Absolute three-dimensional shape measurements using coaxial and coimage plane optical systems and Fourier fringe analysis for focus detection.

焦点検出のための同軸および共画像平面光学系とFourier縞解析を用いた三次元形状絶対測定

Author (6)： TAKEDA M (Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN) ,  AOKI T (Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN) ,  MIYAMOTO Y (Univ. Electro-Communications, Chofu, JPN) ,  TANAKA H (OPTON Co. Ltd., Seto, JPN) ,  GU R (OPTON Co. Ltd., Seto, JPN) ,  ZHANG Z (OPTON Co. Ltd., Seto, JPN)
Material： Optical Engineering  (Opt Eng)
Volume： 39  Issue： 1  Page： 61-68  Publication year： Jan. 2000 
JST Material Number： B0577B  ISSN： 0091-3286  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： absolute measurement ,...
Semi thesaurus term： half mirror ,...

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JST classification (2)： Interferometry and interferometers  (BD07070G) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (6)： 焦点検出 ,  同軸 ,  光学系 ,  縞解析 ,  三次元形状 ,  絶対測定