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J-GLOBAL ID：200902150643447642   Reference number：94A0780194

Automated optical proximity correction-a rules-based approach.

Author (9)： OTTO O W (SEMATECH, TX) ,  GAROFALO J G (Trans Vector Technologies Inc., CA) ,  LOW K K (AT&T Bell Lab., NJ) ,  YUAN C-M (AT&T Bell Lab., NJ) ,  HENDERSON R C (SEMATECH, TX) ,  PIERRAT C (Trans Vector Technologies Inc., CA) ,  KOSTELAK R L (Trans Vector Technologies Inc., CA) ,  VAIDYA S (Trans Vector Technologies Inc., CA) ,  VASUDEV P K (AT&T Bell Lab., NJ)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 2197  Page： 278-293  Publication year： 1994 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)