Art

J-GLOBAL ID：200902151304004100   Reference number：02A0178367

Fabrication of single-crystal Si cantilever array.

単結晶Si片持梁の作製

Author (6)： SAYA D (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUKUSHIMA K (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TOSHIYOSHI H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HASHIGUCHI G (Kagawa Univ., Kagawa, JPN) ,  FUJITA H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KAWAKATSU H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： A95  Issue： 2/3  Page： 281-287  Publication year： Jan. 01, 2002 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： single crystal ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (3)： 単結晶Si ,  片持梁 ,  作製