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J-GLOBAL ID：200902152180488223   Reference number：93A0257176

Nanometer-Fabrication Process and GHz-Range Low-Loss SAW Filters.

超微細加工プロセス技術とGHz帯低損失弾性表面波フィルタ

Author (2)： YAMANOUCHI KAZUHIKO (東北大 電通研) ,  LEE C-S (東北大 電通研)
Material： 電子情報通信学会論文誌 A  (IEICE Transaction on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences (Japan Edition))
Volume： 76  Issue： 2  Page： 185-192  Publication year： Feb. 1993 
JST Material Number： S0621A  ISSN： 0913-5707  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： surface acoustic wave device ,...

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JST classification (1)： General  (NC04021I)

Reference (16)：

• 浅井健吾. 高周波SAWデバイス用サブミクロンプロセスの検討. 信学技報. 1992, US92-7
• 李昌洙. サブミクロン加工技術を用いた低挿入損失GHz帯男性表面波フィルタ. 東北大学通研260回音響工研資料. 1991, 260-3
• HOSAKA, N. Precise Fabrication Technique of UHF SAW A1 Electrodes and Leaky SAW Propagation Characteristics on 36°Y-XLiTaO_3. J. Appl. Phys. 1991, 30 Suppl. 30-1, 169-172
• 山之内和彦. 陽極酸化を用いたGHz帯男性表面波フィルタ. 信学技報. 1989, US89-90
• IEKI, H. SAW Resonators Using Epitaxially AI Electrodes. J. Appl. Phys. 1991, 30 Suppl. 30-1, 176-178

Terms in the title (5)： 微細加工 ,  プロセス ,  GHz ,  低損失 ,  弾性表面波フィルタ