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J-GLOBAL ID：200902152411256738   Reference number：96A0467117

Highly cross-linked polymer networks of amorphous silicon alloys: quantum chemical studies on plasma and photochemical processes.

非晶性けい素アロイの高度橋かけ重合体ネットワーク プラズマ及び光化学的プロセスに対する量子化学研究

Author (2)： SATO K (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  KOINUMA H (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
Material： Progress in Polymer Science  (Prog Polym Sci)
Volume： 21  Issue： 2  Page： 255-297  Publication year： 1996 
JST Material Number： B0802A  ISSN： 0079-6700  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： photo-CVD ,...
Semi thesaurus term： silicon hydride

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JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Homopolymerization  (CG04020S)

Terms in the title (9)： 非晶性 ,  けい素 ,  アロイ ,  高度 ,  プラズマ ,  光化学 ,  プロセス ,  量子化学 ,  研究