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J-GLOBAL ID：200902152421390912   Reference number：93A0648637

Power dependance of diamond films by plazma assisted hot filament CVD.

プラズマ援助熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜のプラズマ電力依存性

Author (6)： SUZUKI SATOSHI (東海大 工) ,  KANZAKI SEIJI (東海大 工) ,  ASANO HIROMITSU (東海大 工) ,  IMAI YASUYUKI (東海大 工) ,  SAKUYAMA TOMOHIRO (東海大 工) ,  SHIRAISHI TADASHI (東海大 工)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 40th  Issue： Pt 2  Page： 431  Publication year： Mar. 1993 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： プラズマ ,  援助 ,  熱フィラメントCVD ,  ダイヤモンド薄膜 ,  電力依存性