Art

J-GLOBAL ID：200902152519115758   Reference number：01A0775703

Ultraprecision Micro-Grinding of Germanium Immersion Grating Element for Mid-Infrared Super Dispersion Spectrograph.

中赤外線超拡散分光計のためのゲルマニウム侵入格子要素の超精密マイクロ研削

Author (4)： OHMORI H (RIKEN Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN) ,  EBIZUKA N (RIKEN Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN) ,  MORITA S (RIKEN Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN) ,  YAMAGATA Y (RIKEN Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN)
Material： CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)  (Manufacturing Technology)
Volume： 50  Issue： 1  Page： 221-224  Publication year： 2001 
JST Material Number： E0026A  ISSN： 0007-8506  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： spectrometer (optical) ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Terms in the title (9)： 中赤外線 ,  超拡散 ,  分光計 ,  ゲルマニウム ,  侵入 ,  格子 ,  要素 ,  超精密 ,  マイクロ研削