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J-GLOBAL ID：200902155183469504   Reference number：00A0442329

Preparation and Magnetic Properties of Co-Pd-Mn-O Soft Magnetic Films by the Reactive Deposition Method Using an O₂ Molecular Beam.

O₂ビームを利用した反応性蒸着法によるCo-Pd-Mn-O軟磁性膜の作製と磁気特性

Author (2)： TAKENO YUKIO (東北大 科学計測研) ,  SHIMADA YUTAKA (東北大 科学計測研)
Material： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
Volume： 24  Issue： 4-2  Page： 683-686  Publication year： Apr. 15, 2000 
JST Material Number： Z0944A  ISSN： 0285-0192  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *magnetic thin film ,...
Semi thesaurus term： Co-Pd-Mn-O軟磁性膜

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JST classification (1)： Magnetic materials  (NA04040H)

Reference (20)：

• 1) 島田寛,北上修:日本応用磁気学会誌, 20, 960 (1996).
• 2) 白江公輔,荒井賢一,島田寛:マイクロ磁気デバイスのすべて (工業調査会, 1992).
• 3) 武野幸雄,島田寛:日本応用磁気学会誌, 22, 637 (1998).
• 4) 武野幸雄,島田寛:電気学会マグネティックス研究会 MAG-98-96 (1998).
• 5) 大沼繁弘,三谷誠司:日本応用磁気学会誌, 19, 19 (1995).

Terms in the title (9)： O2 ,  ビーム ,  反応性蒸着 ,  CO ,  Pd ,  Mn ,  軟磁性膜 ,  作製 ,  磁気特性