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J-GLOBAL ID：200902156537416060   Reference number：01A0583721

Device and Material Processes Using Synchrotron Radiation. from micron to nanometers.

放射光による物作り ミクロンからナノへ

Author (4)： URISU TSUNEO (分子科研) ,  NONOGAKI YOICHI (分子科研) ,  KATO TAKANORI (住友重機械工業) ,  ZHANG Y (住友重機械工業)
Material： 放射光  (日本放射光学会誌)
Volume： 14  Issue： 2  Page： 112-115  Publication year： Apr. 30, 2001 
JST Material Number： L0956A  ISSN： 0914-9287  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *synchrotron radiation ,...

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JST classification (2)： Radiation physics in general  (BK16010L) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (12)：

• 加藤隆典. 精密工学会誌. 1998, 64, 1008
• ZHANG, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 2001, 40, L75
• MIYAMAE, T. Surf. Sci. 1999, 437, L755
• GAO, Y. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1392
• GOTO, T. Jpn. J .Appl. Phys. 1992, 31, 4449

Terms in the title (2)： 放射光 ,  物作り