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J-GLOBAL ID：200902157215367078   Reference number：99A0577426

Synthesis of adhesive c-BN films in pure nitrogen radio-frequency plasma.

純窒素高周波プラズマ中での付着性c-BN膜の合成

Author (5)： YAP Y K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  AOYAMA T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KIDA S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MORI Y (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SASAKI T (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Diamond and Related Materials  (Diam Relat Mater)
Volume： 8  Issue： 2/5  Page： 382-385  Publication year： Mar. 1999 
JST Material Number： W0498A  ISSN： 0925-9635  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： cubic system ,...

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (4)： 窒素 ,  高周波プラズマ ,  付着性 ,  BN