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J-GLOBAL ID：200902161108587631   Reference number：00A0918089

Effect of surfactant on surface quality of silicon microstructures etched in saturated TMAHW solutions.

飽和TMAHW溶液でエッチングされるシリコン微小構造体の表面品質に及ぼす界面活性剤の影響

Author (4)： SARRO P M (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  BRIDA D (IRST, Trento, ITA) ,  VLIST W (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  BRIDA S (IRST, Trento, ITA)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： A85  Issue： 1/3  Page： 340-345  Publication year： Aug. 25, 2000 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： aqueous solution ,...
Semi thesaurus term： TMAH水溶液

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 飽和 ,  溶液 ,  エッチング ,  シリコン ,  微小構造体 ,  表面品質 ,  界面活性剤