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J-GLOBAL ID：200902161303697573   Reference number：99A0421225

機上計測用高精度小型触針式形状測定センサの開発

Author (8)： MORIYASU KIYOSHI (東大) ,  NAKAGAWA TAKEO (東大) ,  MORITA SHIN'YA (東大 大学院) ,  YAMAGATA YUTAKA (理研) ,  OMORI SEI (理研) ,  MAKINOUCHI AKITAKE (理研) ,  KATO JUN'ICHI (理研) ,  YAMAGUCHI ICHIRO (理研)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1999  Issue： 春季  Page： 196  Publication year： Mar. 05, 1999 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (1)：

• 鈴木. 非球面形状の機上測定システムの開発. 精密工学会誌. 1995, 61, 11, 1594

Terms in the title (4)： 機上計測 ,  触針 ,  測定センサ ,  開発