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J-GLOBAL ID：200902163038218482   Reference number：00A0437574

Differences in anisotropic etching properties of KOH and TMAH solutions.

KOHとTMAH溶液の異方性エッチング特性の比較

Author (4)： SHIKIDA M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SATO K (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TOKORO K (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  UCHIKAWA D (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： A80  Issue： 2  Page： 179-188  Publication year： Mar. 10, 2000 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： single crystal ,...
Semi thesaurus term： TMAH【エッチング液】

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： KOH ,  TMAH ,  溶液 ,  異方性 ,  エッチング特性