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J-GLOBAL ID：200902163350902404   Reference number：02A0555279

Ultrasonic Electronics. Fabrication of Ta₂O₅ Piezoelectric Thin Film by the Linear Rapid Thermal Annealing Method and Measurement of Piezoelectricity.

線状急速熱焼鈍法による酸化タンタル圧電薄膜の製造と圧電気の測定

Author (2)： NAKAGAWA Y (Yamanashi Univ., Kofu, JPN) ,  IGARASHI T (Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 41  Issue： 5B  Page： 3285-3289  Publication year： May. 30, 2002 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *tantalum oxide ,...
Semi thesaurus term： surface aqoustic wave

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JST classification (2)： Acoustic transducer and other acoustic equipments  (BB03060N) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Reference (5)：

• 1) B. T. Khuri-Yakub, G. S. Kino and P. Galle: J. Appl. Phys. 46 (1975) 3266.
• 2) Y. Nakagawa: Appl. Phys. Lett. 31 (1977) 56.
• 3) Y. Nakagawa and Y. Gomi: Appl. Phys. Lett. 46 (1985) 139.
• 4) Y. Nakagawa, Y. Gomi and T. Okada: J. Appl. Phys. 61 (1987) 5012.
• 5) P. Pignolet, G. M. Rao and S. B. Krupanidhi: Thin Solid Film 261 (1995) 18.

Terms in the title (4)： 急速熱焼鈍 ,  酸化タンタル ,  圧電薄膜 ,  圧電気