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J-GLOBAL ID：200902163673696153   Reference number：99A0454285

フォトリソグラフィーを用いた薄膜インダクタの試作

Author (6)： ISHIDA KOICHI (山口県工技セ) ,  OKANO ISAMU (サン電子工業) ,  NISHIMURA KAZUNORI (山口大 工) ,  OJIMA YUSUKE (山口大 工) ,  YAMAMOTO SETSUO (山口大 工) ,  MATSUURA MITSURU (山口大 工)
Material： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
Volume： 1999  Issue： 総合 3  Page： 349  Publication year： Mar. 08, 1999 
JST Material Number： G0508A  ISSN： 1349-1369  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *thin film inductor ,...

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JST classification (2)： LCR parts  (NA05030D) ,  Power source circuit  (NC05060Q)

Terms in the title (3)： フォトリソグラフィー ,  薄膜インダクタ ,  試作