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J-GLOBAL ID：200902166627769358   Reference number：02A0686138

Electrical and optical properties of gallium-doped zinc oxide films deposited by dc magnetron sputtering.

直流マグネトロンスパッタリングにより蒸着したガリウムドープ酸化亜鉛膜の電気および光学特性

Author (5)： SONG P K (Aoyama Gakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  WATANABE M (Aoyama Gakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  KON M (Aoyama Gakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  MITSUI A (Asahi Glass Co. Ltd., Yokohama, JPN) ,  SHIGESATO Y (Aoyama Gakuin Univ., Tokyo, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 411  Issue： 1  Page： 82-86  Publication year： May. 22, 2002 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *zinc oxide ,...

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JST classification (3)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Electric conduction in crystalline semiconductors  (BM03043X) ,  Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A)

Terms in the title (4)： 直流マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  ガリウムドープ酸化亜鉛 ,  光学特性