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J-GLOBAL ID：200902166895269465   Reference number：99A0975020

Low-GWPのC₅F₈を用いた耐熱性low-k a-C:F膜のPE-CVD

Author (3)： SHIRAFUJI TATSU (京都工繊大) ,  HAYASHI YASUAKI (京都工繊大) ,  NISHINO SHIGEHIRO (京都工繊大)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 60th  Issue： 2  Page： 711  Publication year： Sep. 01, 1999 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： GWP ,  耐熱性 ,  PE ,  CVD