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J-GLOBAL ID：200902168525037860   Reference number：95A0126188

Deposition of Mo Films by Ion Beam Assisted Excimer Laser PVD Method.

イオンビーム併用エキシマレーザPVD法によるモリブデン膜の形成

Author (4)： YANO TETSUO (四国工技研) ,  OIE TOSHIHIKO (四国工技研) ,  YONEDA MASAFUMI (四国工技研) ,  KATSUMURA MUNEHIDE (四国工技研)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 58  Issue： 12  Page： 1429-1435  Publication year： Dec. 1994 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： ion beam deposition ,...

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JST classification (1)： Vapor plating  (WC08022K)

Terms in the title (5)： イオンビーム ,  併用 ,  エキシマレーザ ,  PVD ,  モリブデン膜