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J-GLOBAL ID：200902169397040085   Reference number：01A0899806

荷電ビームを応用する加工と計測 電子ビームによるLSIテスティング

Author (2)： FUJIOKA HIROMU (大阪大 大学院工学研究科) ,  NAKAMAE KOJI (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 67  Issue： 9  Page： 1407-1411  Publication year： Sep. 05, 2001 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *LSI ,...
Semi thesaurus term： 点滅光源 ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Applications of electron beams and ion beams  (BD02070X)

Reference (15)：

• 裏克己. ビームテスティング. 電子・イオンビームハンドブック. 1998, 24
• 藤岡弘. 発展史と展望-LSI観察・評価装置. 電子顕微鏡. 2000, 35, 1, 41
• 裏克己. 電子ビームテスティングハンドブック. 学振第132委員会第98回研究会資料. 1987
• URA, K. Electron Beam Testing. Advnces in Electronics and Electron Physics. 1989, 73, 233
• OATLEY, C. W. The examination of p-n junction with the scanning electron microscope. J. Electronics. 1957, 2, 568

Terms in the title (5)： 荷電ビーム ,  応用 ,  計測 ,  電子ビーム ,  LSI