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J-GLOBAL ID：200902169969541676   Reference number：95A0554746

Optimization of the halftone phase-shifting masks. III. Experimental results.

ハーフトーン位相シフトマスクの最適化 (3) 露光実験による検証

Author (3)： SHIMIZU HIDEO (ソニー) ,  UESAWA FUMIKATSU (ソニー) ,  ODA TATSUJI (ソニー)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 42nd  Issue： Pt 2  Page： 549  Publication year： Mar. 1995 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： ハーフトーン位相シフトマスク ,  最適化 ,  露光 ,  実験 ,  検証