Art

J-GLOBAL ID：200902171381955177   Reference number：01A1072918

Structural and optical properties of silver thin films deposited by RF magnetron sputtering.

RFマグネトロンスパッタリングにより堆積した銀薄膜の構造及び光学特性

Author (4)： RIZZO A (PASTIS-CNRSM, Brindisi, ITA) ,  TAGLIENTE M A (PASTIS-CNRSM, Brindisi, ITA) ,  ALVISI M (PASTIS-CNRSM, Brindisi, ITA) ,  SCAGLIONE S (ENEA, Roma, ITA)
Material： Thin Solid Films
Volume： 396  Issue： 1/2  Page： 29-35  Publication year： Sep. 21, 2001 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *RF sputtering ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A1072918&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0899A") }}

JST classification (2)： Metallic thin films  (BK14030T) ,  Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A)

Terms in the title (4)： RFマグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  銀薄膜 ,  光学特性