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J-GLOBAL ID：200902172306814130   Reference number：02A0786194

Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined single-crystal silicon by scanning force microscope and scanning laser microscope.

走査型原子間力顕微鏡と走査型レーザ顕微鏡を用いたナノスケール切削されたシリコン単結晶における表面及びサブ表面亀裂の評価

Author (5)： SUMOMOGI T (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN) ,  NAKAMURA M (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN) ,  ENDO T (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN) ,  GOTO T (Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN) ,  KAJI S (Mitsubishi Heavy Ind., Ltd., Yokohama, JPN)
Material： Materials Characterization  (Mater Charact)
Volume： 48  Issue： 2/3  Page： 141-145  Publication year： Apr. 2002 
JST Material Number： D0448C  ISSN： 1044-5803  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,...
Semi thesaurus term： シリコン ,...

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JST classification (2)： Nondestructive testing  (HB02030F) ,  Ceramic materials  (HC04040H)

Terms in the title (9)： 走査型 ,  原子間力顕微鏡 ,  レーザ顕微鏡 ,  ナノスケール ,  切削 ,  シリコン単結晶 ,  サブ ,  表面亀裂 ,  評価