Art

J-GLOBAL ID：200902172537038524   Reference number：01A0433276

Development of Numerically Controlled EEM (Elastic Emission Machining) System. Evaluation of Figuring Accuracy with the Range of Nanometer.

数値制御EEM(Elastic Emission Machining)加工システムの開発 nmオーダでの加工精度の評価

Author (6)： MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科) ,  YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 大学院工学研究科) ,  SUGIYAMA KAZUHISA (大阪大 大学院工学研究科) ,  INAGAKI KOJI (大阪大 大学院工学研究科) ,  MIMURA HIDEKAZU (大阪大 大学院工学研究科) ,  IMAI TOSHIYUKI (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 67  Issue： 4  Page： 607-612  Publication year： Apr. 05, 2001 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraprecision machining ,...
Semi thesaurus term： EEM加工 ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0433276&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Reference (16)：

• ISHIKAWA, T. Exotic Silicon Optics Elements at the Spring-8. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 3
• KINOSHITA, H. Development of 3-Aspherical Mirror Optics for Extreme Ultraviolet Lithography. Precision Science and Technology for perfect surfaces. 1999, 9
• BECKER, K. B. Fabrication Technologies for "Perfect" Optics. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 51
• WEISER, M. Aspherical Surfaces at 100pm Accuracy. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 61
• MORI, Y. Activities on Perfect Surfaces in Osaka University. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, iii

Terms in the title (7)： 数値制御 ,  EEM ,  加工システム ,  開発 ,  オーダ ,  加工精度 ,  評価