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J-GLOBAL ID：200902173104600429   Reference number：96A0567954

Oriented and textured growth of (111) diamond on silicon using hot filament chemical vapour deposition.

ホットフィラメント化学蒸着を用いたシリコン上の(111)ダイヤモンドの配向集合組織化成長

Author (4)： CHEN Q (Inst. Physics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  CHEN Y (Inst. Physics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  YANG J (Inst. Physics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  LIN Z (Inst. Physics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 274  Issue： 1/2  Page： 160-164  Publication year： Mar. 1996 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Diamond ,...
Semi thesaurus term： HFCVD

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (7)： フィラメント ,  化学蒸着 ,  シリコン ,  ダイヤモンド ,  配向 ,  集合組織 ,  成長