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J-GLOBAL ID：200902173376363370   Reference number：02A0909711

DLCダイヤモンド膜 最近のDLC膜・ダイヤモンド膜の製作技術およびそれら被膜の諸特性

Author (1)： TANAKA AKIHIRO (産業技術総合研 新炭素系材料開研セ)
Material： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
Volume： 47  Issue： 11  Page： 802-808  Publication year： Nov. 15, 2002 
JST Material Number： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Lubrication in general  (QB02010S)

Reference (14)：

• 池永勝. 超硬質皮膜の原理と工業的応用. 2000, 39
• 岩村栄治. UBMスパッタ法で作製したDLC積層膜の摺動特性. トライボロジー会議予稿集, 宇都宮. 2001, 151
• 花栗孝次. 表面改質技術の新展開. 2002, 31
• YAMAMOTO, K. The sp^3 bond fraction in carbon films prepared by mass-separated ion beam deposition. Diamond and Related Materials. 2001, 10, 895
• YAMAMOTO, K. Tribological properties of diamond-like carbon films prepared by mass-separated ion beam deposition. Diamond and Related Materials

Terms in the title (5)： DLC ,  ダイヤモンド膜 ,  DLC膜 ,  製作 ,  被膜