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J-GLOBAL ID：200902174115022083   Reference number：95A0933704

Straightness measurement using laser beam straight datum.

Author (4)： UCHIKOSHI J (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SHIMADA S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  IKAWA N (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KOMURA A (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 2576  Page： 315-322  Publication year： 1995 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： LASER